真空爐真空系統如何操作呢?大家在操作該設備之前可以先看下如下分享,相信對大家操作真空爐真空系統是有幫助的。
1、羅茨泵啟動(dòng)
打開(kāi)前級閥,關(guān)閉主閥和預抽閥,用按鈕啟動(dòng)機械泵,當低真空規管測量的真空度高于羅茨泵入口真空度時(shí),比如小于2kPa,啟動(dòng)羅茨泵。
2、預熱擴散泵
主閥和預抽閥仍處于關(guān)閉狀態(tài),前級泵機組對擴散泵抽真空,當低真空規管測量擴散泵前級真空度高于規定值時(shí),比如小于7Pa,啟動(dòng)擴散泵加熱器。
3、預抽爐內真空
先關(guān)前級閥,并停止羅茨泵,稍后打開(kāi)預抽閥對爐內抽真空。爐內真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時(shí),再啟動(dòng)羅茨泵。前級泵機組對爐內抽氣,使之達到預抽真空度。
4、抽高真空
爐內真空度達到或高于規定值,且擴散泵加熱時(shí)間到,先關(guān)預抽閥,然后開(kāi)高真空閥,對爐內抽高真空,直到高真空規管測得的爐內真空度達到或高于工作真空度,才進(jìn)行下一步操作。真空系統的關(guān)閉步驟相對比較簡(jiǎn)單,當爐子溫度減低到可關(guān)真空系統的要求時(shí),關(guān)閉主閥,接著(zhù)關(guān)閉擴散泵加熱器,但前級閥不能關(guān)閉,前級泵機組仍然工作,直到擴散泵加熱器冷卻時(shí)間到,才依次關(guān)閉前級閥和前級泵機組。
以上即是真空爐真空系統的操作方法,大家選購好設備之后可以先了解一下操作方法,方便后期更快的投入使用。
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